半导体所与“中国芯”

      摘要：

　　中国特色社会主义进入新时代以来，科技兴国凸显神威，上天、入地、下海成为我国这几年的新常态，新科技的应用在许多行业呈井喷式状态。世界感到中国这艘巨轮正载着中国人的中国梦，乘风破浪驶向美好的未来!祖国的快速发展触动我对自己科研工作生涯的绵绵回忆……

刘大白

　　中国特色社会主义进入新时代以来，科技兴国凸显神威，上天、入地、下海成为我国这几年的新常态，新科技的应用在许多行业呈井喷式状态。世界感到中国这艘巨轮正载着中国人的中国梦，乘风破浪驶向美好的未来!祖国的快速发展触动我对自己科研工作生涯的绵绵回忆……

　　超级计算机系统靠的就是那颗全部由我国自己制造的"中国芯"。它把260个运算核心集成在25平方厘米，这需要多少晶体管构成大规模集成电路和超大规模集成电路才能完成啊？制造大规模集成电路和超大规模集成电路，需要极精密的微米和纳米级的半导体专业设备，要集光机电一体化的高精尖技术。关于这方面的技术，西方国家尤其是发达国家对我们都是严密封锁、禁售禁运的。我国完全是从零开始，自力更生，自己研制的。而作为从事这方面技术研究的专业单位--中科院半导体所，毫无疑问对"中国芯"有着重要的贡献，与"中国芯"紧密相连。

　　回顾这项工作所经历的几十年奋斗历程，中国从零开始，一步步获得今天的成绩，我不由得感慨万千。那是我们的科研人员依靠自己的聪明才智，依靠筚路蓝缕的奋斗精神，依靠日积月累的成功积淀，才有了"中国芯"的闪亮登场。

　　1979年，我国成立了"国务院电子工业振兴办公室"，统一规划国家的电子工业。各省(自治区、直辖市)随之成立了相应的组织并开展工作。例如，北京市成立了"北京电子工业振兴办公室"。不久之后，在中科院的领导下，半导体所也成立了由器材处处长、科技处处长和我组成的半导体专业设备研制领导小组，具体工作由副所长刘大明同志负责，重要工作必须向黄昆所长汇报，由他亲自拍板。

　　当时，半导体所牵头与国内有关单位联合，分工合作、共同攻关，完成上交给的任务。半导体所从工艺使用上提出要求，做出实验结果，组织大家在专实指导下进行方案论证，最后确定方案。然后通过中科院上报国务院电子工业振兴办公室批准立项。

　　当时所立项的主要项目有双束合成低能粒子束外延机、分子束外延机、0.5微米投影光刻机、64k图形发生器、离子注入机、干法刻蚀机、软X射线曝光机、制版机、高真空蒸发台、反应离子刻蚀机。

　　上述每台设备在当时的研制费用都在几百万元到几千万元。经费的来源小部分由中科院拨付，大部分向国务院电子工业振兴办公室申请。每项工作从立项到方案论证，都是在老科学家黄昆、林兰英、王守武、王守觉四位院士的指导下进行的。有的项目还延请外单位专家，如王大珩院士和洪朝生院士等，参加指导在他们的指导下，再集中广大科技工作人员的智慧，经过艰苦奋斗完成了研制工作，设备全部通过鉴定并投入使用。

　　特别要说明的是，双束合成低能粒子束外延机和分子束外延机是由林兰英先生提出立项的。林先生是半导体材料领域的著名专家，她是20世纪50年代初从美国归来的爱国科学家。这两套生长半导体薄膜材料的尖端技术设备的研制成功，用来生成优质半导体薄膜材料，为我国半导体事业立下了不朽的功劳，也可用于稀土材料的科学研究，为稀土材料的开发应用做出了贡献。1988年5月3日《科学报》以"我国首次研制成功双束低能粒子束外延机"为题专门做了报道。1989年，该机获得中国科学院科学技术进步奖二等奖。"软X射线曝光机"和"干法变蚀机"分别获得了院部级成果奖。

　　在这里要特别感谢参加项目研制的所有单位。当然还应铭记为此付出艰苦劳动而未记住姓名的众多科技人员、工人师傅。

　　从那时开始，我们科研设备的研制越来越精益求精，迭代发展越来越快。我跟随着它的脚步走过了那段难忘的岁月!

　　从当年项目立项开始，我每年几乎有三分之一的时间要到外地合作单位去解项目的进展情况，组织各单位一起协调工作进展，交流各自负责的工作情况。进而提出技术上的互相配合……有时还需要住下来参加工艺实验。有一次，我杨沁清同志去浙江大学做光刻工艺，原来计划两天完成，结果一直干了一个星期。当时，我的两个孩子尚小，我的父亲因双目失明而生活无法自理(平时由我照顾)，而我的丈夫正在美国做访问学者。我设法克服自己的困难，从未影响工作。由于经常出差和工作紧张，有一次我病倒在外地，患急性阑尾炎住进当地医院。身体刚刚痊愈，我又义无反顾地投入紧张的工作当中。

　　老领导、老科学家们鼓励我们不畏困难的教诲更令人难忘。记得有一年寒冬大雪天，分子束外延机的技术讨论会在金属所的研制现场召开，会议举办者想请林兰英先生到会指导，她不顾年事已高，欣然顶着严寒前往。还记得有一次，刘大明所长带我们前往藏在深山沟里的光电所协调工作，且一住就是几天。他们的实验室就设在山沟的两旁，工作条件和生活条件非常艰苦。回忆过往的工作，至今一些情景仍历历在目，对共过事的老一辈和同辈更是觉得感情难舍。

　　回忆起那个比较艰苦的创业年代，让我最难忘且体会最深的是:

　　第一，没有政府的统一指挥调度，集中全国的力量，就没有今天的进步。也就是今天常说的我们有制度优势，制度自信。

　　第二，没有老一代领导和老一代科学家的高瞻远瞩并倾尽全身心地部署参与科研工作，就没有今天的成果。因此，今天中国以世界第二大经济体站立在世界人民面前时，我们不能忘记老一辈的巨大贡献，他们是共和国的脊梁。

　　第三，我们那一代科技人员的确是不讲条件、艰苦奋斗的一代。

　　谨以此文，感念老一辈科学家、老一辈领导和我同时代的科技工作人员。

　　① 刘大白，84岁，中国科学院半导体研究所高级工程师。

　　本文源自：《我心向党 科学报国 - 科学家精神在这里闪光》，科学出版社，2021